| 编号 |
设备名称 |
规格 |
设备照片 |
| 11 |
大规模集成电路测试系统 |
V7100+ |
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技术指标 |
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主要技术指标：
Number of Pins 128I/O；Test frequency 10MHz；Overall
timing accuracy <10ps； Parallel measurement
capability 2 DUTS； Data failure memory 64KW/PIN；
Vil -2.0V~8V； Vih 0to 11V；Level select 4Levels；Comparator
specifications(input voltage -12.0V~+12.0V； Inpedance
>10兆欧)； Device power supply：(Output voltage
-36V~36V，Measured current ±30V，±0.4A；±36V，±0.1A，Number
of units 4，User power supply output voltage/current:(+5V,1.0A；+12v,1.0A；+15V,1.0A；-15V,1.0A；+13V,1.0A(For
relays)；+10Vand -2V,1.0A)； VSIM:(Voltage resolution
122uV/244uV/1.22mV,Current range:±5uA/50uA/5mA/50mA/500mA，Current
clamp 110% current range)；ISVM:(Force current
range:±5uA/50uA/5mA/50mA/500mA,Current resolution
122pA/1.22nA/12.2nA.....12.2uA，Voltage measurement
range:4V/8V/36V,Voltage resolution 122uV/244uV/1.22mV)；
Seguence pattern generator(Control memory 1MW/PIN,Pattern
memory 1MW/PIN,I/O memory 2KW/PIN,Mask memory
2KW/PIN)
功能/应用范围：
数字信号集成电路芯片、圆晶片测试 |
| 编号 |
设备名称 |
规格 |
设备照片 |
| 12 |
T6672大规模集成电路测试系统 |
T6672 |
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技术指标 |
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主要技术指标：
Number of Pins 256I/O ; Test frequency 125/256/500MHz;
Overall timing accuracy
+-350ps; Timing Resolution 31.25ps，(8ps for Acmeasurement);
Number of edges 6/PI
N; Pattern multiplex Available; Pin multiplex
Available; Timing set 32;Test func
tions Match,multi-clock,double-speed clock,frequency
measurement,subroutine; STE
capacity 64MW; Number of MDC units 1 unit/16channel;
Number of UDC units 4 unit
s; Device power supply units 16 units,-6~8v; Timing
edge 6/pin; Minimum test cyc
le 8ns; Maximum test cycle 1ms; Output voltage
amplitude 0.2v to 8.0v Vp-p; Outp
ut voltage range Vih:-1.8V to 6.0V,Vil:-2.5Vto
5.0V; Output voltage resolution 2
mV; Output impedance 50欧±2欧（Iout <=20mA),50欧±5欧（Iout>20mA).......
功能/应用范围：
数字、数模混合信号集成电路芯片、圆晶片测试 |
| 编号 |
设备名称 |
规格 |
设备照片 |
| 13 |
全自动探针台 |
P-8XL |
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技术指标 |
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主要技术指标：
Wafer Specifications(Sizes:4，5，6，8inches,Thickness:
150-1000um,Die Size:350-75000um)；Probe Card Sizes(Outline:Max.
300mm Diameter,Thickness: Max.50 mm,Weight:Max.
10kg)；Probe Alignment Range(X(R):100MM,Y(Back
):100mm)；Probe Unit Specifications(Positioning
accuracy quarantee range(x/y):±4um(z)±3um,Contact
accuracy quarantee when using ASU:x/y=±4um z=±5um,Card
holder attachment parallelism: 25um/Max.∮200)；
XYStage(XYprobing area: From Insert Ring Center,
X:±118mm,Y:+230mm, -110mm,Accuracy:+-2um,Control
resolution:0.4um,Maximum speed:200mm/sec)； Zstage(Z
stroke:77mm,Contact point setting area:75.3mm,Accuracy:Max.±2um,Max./Mum
speed:40mm/sec,Overshool:Max.4um(500um at rise),Withstand
load：40kg，Zstage rigidity：R90mm position：Horizontal
rigidity 9.0um/10kg，Vertical rigidity 15.0um/10kg，Loading
center： Vertical rigidity 9.0um/10kg)。
主要附件：
TEL 测试头自动装置系统
功能/应用范围：
晶圆片全自动测试 |
| 编号 |
设备名称 |
规格 |
设备照片 |
| 14 |
ETS770大规模集成电路测试系统(B) |
ETS770 |
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技术指标 |
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主要技术指标：
通道数64I/O ; 测试频率 50MHz; 总时间精度 50ps; 2同测; 向量深度
1MW/PIN; Vil:-2.0V~6V; Vih (Vil+500mV)to 6.5V;
分辨率 50mVSink/Souce current ±50mA; 输入电压 -2.0V~+6.5V;
阻抗 >10兆欧； 输出电流 IOH: -1mAto -20mA,IOL: 1mAto
20mA;Device 电源:STD(0 to 6V,2Amax,分辨率10mV, 精度:±50mV),Number
of units 1 STD,2Optional; VSIM:(电压设置范围 8V,电压分辨率
5mV,电流范围 ±150mA,电流分辨率 100pA/1nA/10nA/100nA/1uA/10uA);ISVM:(Force
current range ±150mA,电流分辨率 100pA/1nA/10nA/100nA/1uA/10uA,电压测量范围
8V,电压分辨率 5mV,测量精度 ±10mV,±2.5欧*Imeas)。
功能/应用范围：
数字、模数混合信号集成电路芯片、圆晶片测试。 |
| 编号 |
设备名称 |
规格 |
设备照片 |
| 15 |
全自动探针台（A） |
UF200 |
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技术指标 |
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主要技术指标：
Wafer Specifications(Sizes:5，6，8inches,Thickness:
150-1000um,Die Size:0.25~100mm,graduation 0.1um)；Total
accuracy: Within 4um； Chuck Z control(Control
accuracy: ±2um,Overtravel: 0~500um)； X/Y ares(probinh
ares:120mm,Max.speed:200mm/sec,Resolution:0.5um)；
Zaxis(Full stroke:69mm,Standard stroke at probing:0.5mm,Speed:35msec/0.5mm,Resolution:0.375um)；θaxis(Adjustable
range: ±5°,Resolution:0.00028°(approx.0.5um on
200mm wafer edge))；
主要附件：
测试头自动装置系统
功能/应用范围：
晶圆片全自动测试 |
| 编号 |
设备名称 |
规格 |
设备照片 |
| 16 |
电机单体性能测试装置 |
特制 |
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技术指标 |
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主要技术指标：
试验对象：适用电源驱动方式为50Hz、60Hz单相，电压范围110V/220V；50Hz三相，电压范围380V；交流变频驱动；直流变频驱动的电动机测功。测试项目：电机最大力矩、启动力矩、转速、启动电流、电机机械效率。
主要附件：
日本HITACHI制交流变频电源J300-075LF5。日本YOKOGAWA制WT-2030数字功率计。
功能/应用范围：
试验对象：适用电源驱动方式为50Hz、60Hz单相，电压范围110V/220V；50Hz三相，电压范围380V；交流变频驱动；直流变频驱动的电动机测功。测试项目：电机最大力矩、启动力矩、转速、启动电流、电机机械效率 |
| 编号 |
设备名称 |
规格 |
设备照片 |
| 17 |
空调器用压缩机寿命试验装置 |
SHQ-400L2 |
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技术指标 |
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主要技术指标：
试验对象：适用冷媒为R22、R407C、R410A，电源驱动方式为50Hz、60Hz单相，电压范围110V/220V；50Hz三相，电压范围380V；交流变频驱动；直流变频驱动的电动机－压缩机。试验项目：加速寿命试验、启动耐久性试验等（GB/T
15765-1995）,压缩机制冷量范围1000W～10000W。
主要附件：
日本HITACHI制交流变频电源J300-075LF5。
功能/应用范围：
试验对象：适用冷媒为R22、R407C、R410A，电源驱动方式为50Hz、60Hz单相，电压范围110V/220V；50Hz三相，电压范围380V；交流变频驱动；直流变频驱动的电动机－压缩机。试验项目：加速寿命试验、启动耐久性试验等（GB/T
15765-1995）,压缩机制冷量范围1000W～10000W。 |
| 编号 |
设备名称 |
规格 |
设备照片 |
| 18 |
高解像度X光透射装置 |
MUJ－12F |
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技术指标 |
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主要技术指标：
X光管球功率：120KV；透视能力：约t＝4mm以下厚度钢板；透视工件重量：20kg以下。使用数字积分成像技术使图像更清晰。
主要附件：
日本SONY照片打印机
功能/应用范围：
X光管球功率：120KV；透视能力：约t＝4mm以下厚度钢板。使用数字积分成像技术使图像更清晰。 |
| 编号 |
设备名称 |
规格 |
设备照片 |
| 19 |
空调器用压缩机水份测试装置 |
SHUV－22C |
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技术指标 |
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主要技术指标：
试验对象：全封闭式压缩机的整机残余水份含量测试（GB/T 15765-1995）。
主要附件：
广州ESPEC制PHH-201高温烘箱。
功能/应用范围：
试验对象：全封闭式压缩机的整机残余水份含量测试（GB/T 15765-1995）。 |
| 编号 |
设备名称 |
规格 |
设备照片 |
| 20 |
压缩机寿命实验装置 |
SHLL-15E |
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技术指标 |
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主要技术指标：
试验对象：适用冷媒为R22、R407C、R410A，电源驱动方式为50Hz、60Hz单相，电压范围110V/220V；50Hz三相，电压范围380V；交流变频驱动；直流变频驱动的电动机－压缩机。适用压缩机制冷量范围1000W～10000W。
主要附件：
日本HITACHI制交流变频电源J300-075LF5。
功能/应用范围：
试验项目：加速寿命试验、启动耐久性试验等（GB/T 15765-1995）,压缩机制冷量范围1000W～10000W。
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